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            離子泵維修

            1、在低壓下,當陰極和陽極間加上高壓時,引起場致發射。


            2、在電、磁場作用下電子作螺旋運動。


            3、電子與氣體分子碰撞產生正離子和二次電子,引起雪崩效應。正離子轟擊鈦陰極,濺散出鈦原子落在陽極筒上,形成新鮮鈦膜,也有的落在陰板外圍區(β區)。


            4、活性氣體與新鮮鈦膜反應形成化合物,化學吸附在陽極筒內壁。隋性氣體被電離,離子在電場作用下轟擊陰極過程中被排出。其排除方式為:
            1)離子直接打入陰極表面內或β區,斜射的離子切入陰極表面,離子和鈦一起被掀掉,埋葬在β區,
            2)離子沒打入陰極內,從陰極得一電子恢復為中性原子或分子,反射到陽極內表面被埋掉,這叫“荷能中性粒子反射”。


            5、對于氫,由于其質量小,氫離子轟擊鈦板的濺射產額甚低,氫離子 H2+ 或 H+ 打到鈦板上與電子復合變成H原子,然后擴散入鈦的晶格內,形成TiH固溶體而被排出。常溫下這種固溶體中H2的濃度為0.05%,當溫度高于250oC以上時,便又開始分解放出氫。鈦大量吸氫后。由于放熱反應鈦板溫度上升,達到250oC以后,除重新釋放氫之外并導致鈦板晶格膨脹造成龜裂。通常需加大鈦板的散熱能力來改善濺射離子泵對氫的排除能力。要提高對氫的抽速,需保持鈦板表面清潔,選用晶格常數較大的β-Ti或鈦合金作為陰極板,或引入與氫可比擬的氬含量。因氬的濺散產額高,可提高對氫的抽速。

              
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